PS2H60系列由两维X轴叠加组合,沿X,Y轴提供24µm的运动范围。(其它行程均可定制)。
PS2H60-024U系列是具有纳米级定位分辨率的高速,多轴,精密纳米定位系统。
PS2H60-024U提供最大的多功能性,可以配置XY或XYZ运动并拥有独立的Z/X轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环,可进行重复的位置测量。
本系列产品采用压电陶瓷直驱机构的设计原理,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,高谐振频率,高稳定性,高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。可根据客户要求定制。
PS2H60-024U系列压电陶瓷元件直接移动工作台面,具有高刚性,即使在高负载下可实现稳定定位。
产品特性
—高速响应,多轴定位
—最短的响应时间
—亚纳米范围内的高分辨率
—高度紧凑的设计带来卓越的性能
选配功能
—可定制孔位及转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可提供XYZ版本
应用领域
—硬盘测试
—光纤对接
—电化学加工
—3D锡膏检测
结构原理 位移特性 典型应用
PS2H60-024U系列技术参数